Details for 2019183682

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Title / Product Name

HOCHLEISTUNGSFÄHIGE RASTERELEKTRONENMIKROSKOPVORRICHTUNG FÜR INSPEKTION UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DAVON

Status

Deleted

Protection Type

European Patent

(AT-) Application Number

2019183682

EP Publication Number

3594988

E-Number

1757191

Language

PCT Number

Publication Date

15.01.2020 A

01.01.2025 B1

Registration Date

01.01.2025

AT Publication Date

15.01.2025

Application Date

01.07.2019

Registration Number

Priorities

12.07.2018

201816033987

IPC

H01J 37/28 20060101AFI20191122BHEP

Maximum Duration of Protection

01.07.2039

Owner

ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbHAmmerthalstrasse 20 85551 HeimstettenDE

Representative

No representatives present

Inventor

Adamec, PavelICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Am See 29 85540 HaarDE