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Title / Product Name

LICHTEMPFINDLICHE ZUSAMMENSETZUNG FÜR EUV-LICHT, VERFAHREN ZUR MUSTERBILDUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG

Status

Deleted

Protection Type

European Patent

(AT-) Application Number

2020784526

EP Publication Number

3950744

E-Number

1622398

Language

PCT Number

JP20010050

Publication Date

09.02.2022 A

18.10.2023 B1

Registration Date

18.10.2023

AT Publication Date

15.11.2023

Application Date

09.03.2020

Registration Number

Priorities

29.03.2019

2019067401

26.02.2020

2020030660

IPC

C08F 220/16 20060101AFI20230331BHEP

Maximum Duration of Protection

09.03.2040

Owner

FUJIFILM Corporation26-30, Nishiazabu 2-chome Minato-ku Tokyo 106-8620JP

Representative

No representatives present

Inventor

SAKITA, Kyoheic/o FUJIFILM Corporation, 4000, Kawashiri, Yoshida-cho Haibara-gun, Shizuoka 421-0396JP